有機(jī)廢氣處理流程及應(yīng)用實(shí)例

 

有機(jī)廢氣處理流程及應(yīng)用實(shí)例，有機(jī)廢氣處理主要有吸收法、吸附法、燃燒法、生物法等處理技術(shù)。吸收法是應(yīng)用有機(jī)氣體水溶性的***性，且添加次氯酸鈉或過(guò)氧化氫等氧化劑，將有機(jī)廢氣中的有機(jī)氣體去除。此辦法因添加氧化劑不光處理本錢添加，且易構(gòu)成二次污染，故吸收法未得到遍及應(yīng)用。生物處理法是應(yīng)用微生物的代謝作用，將污染物分解成無(wú)害物質(zhì)。生物處理法運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用低，二次污染小，但處理?xiàng)l件嚴(yán)、繼續(xù)時(shí)刻長(zhǎng)，占地面積***，故實(shí)踐應(yīng)用較少。燃燒法是應(yīng)用高溫燃燒進(jìn)程將有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O，依據(jù)廢氣的燃燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的燃燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易形成觸媒毒化，故很少選用這種辦法。吸附法是應(yīng)用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機(jī)氣體分子別離，而凈化有機(jī)廢氣。適用于集成電路工業(yè)的有機(jī)廢氣處理辦法有吸附法和燃燒法。

 

有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)由高溫轉(zhuǎn)輪設(shè)備和活性炭吸附設(shè)備構(gòu)成。有機(jī)廢氣經(jīng)過(guò)預(yù)過(guò)濾器，除掉塵埃顆粒，維護(hù)下流的設(shè)備；經(jīng)過(guò)原氣體冷凝器，除掉高沸點(diǎn)有機(jī)物甲基乙基酮MEA，維護(hù)高溫轉(zhuǎn)輪設(shè)備內(nèi)的吸附劑；經(jīng)過(guò)加熱器，加熱冷凝后的有機(jī)廢氣至30。C左右，這樣能夠進(jìn)步有機(jī)物吸附率；接著經(jīng)過(guò)G—AC過(guò)濾器，再次過(guò)濾去除高沸點(diǎn)有機(jī)物。廢氣送風(fēng)機(jī)將有機(jī)廢氣送人高溫轉(zhuǎn)輪設(shè)備進(jìn)行吸附。高溫轉(zhuǎn)輪分為前后二室，并裝有一個(gè)***轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上裝有紙質(zhì)活性炭過(guò)濾器。有機(jī)廢氣處理過(guò)濾和吸附后排人***氣中，吸附后的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)入另一室內(nèi)，通入150。C左右的熱空氣進(jìn)行解吸附，解吸附出來(lái)的濃縮氣體經(jīng)過(guò)過(guò)濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過(guò)濾器等設(shè)備，被濃縮氣體送風(fēng)機(jī)送人顆?；钚蕴课酵蔡幚恚胶笈欧庞?**氣中。